工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)是用于半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中關(guān)鍵設(shè)備的 間接冷卻裝置。分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng),本篇就工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)組成、工作原理、系統(tǒng)特點及系統(tǒng)模式選擇等內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)介紹。

    工藝?yán)鋮s水的應(yīng)用范圍非常廣泛，涉及到工業(yè)生產(chǎn)中的各方面，包括半導(dǎo)體、微電子、工業(yè)制冷機(jī)、火電廠中汽輪機(jī)排氣冷凝、大型中央空 調(diào)、煤化工、石化廠、天然氣管道降溫等場所均有大量的工藝?yán)鋮s水使用。在許多產(chǎn)品或工藝生產(chǎn)環(huán)境都要求配備潔凈廠房，車間全年要求溫度和相對濕度保持在一定范圍，其中一些生產(chǎn)過程發(fā)熱量大，工藝設(shè) 備需要低溫水冷卻降溫，甚至在冬季仍然需要空調(diào)供冷，為了滿足這些要求，必須建造工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)分為開式系統(tǒng)和閉式 系統(tǒng)兩類。

    1、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)組成及工作原理

    工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)由以下幾部分組成：冷水機(jī)組、泵、熱交換器、水箱、過濾器、工藝設(shè)備。如圖1所示。

    冷水機(jī)組：給冷卻水系統(tǒng)提供冷源。

    水泵：對水加壓，保證其在冷卻系統(tǒng)中循環(huán)流動。

    熱交換器：利用此設(shè)備使冷凍水系統(tǒng)與冷卻水系統(tǒng)產(chǎn)生熱交換，以將此系統(tǒng)負(fù)載端產(chǎn)生的熱量傳送給冷凍水系統(tǒng)。熱交換器種類繁多，按其形式可分管殼式、板式、板翅式、熱管式等。相比較而言，板式熱交換 器具有占地面積小，傳熱面積大的優(yōu)點，考慮到半導(dǎo)體廠房空間面積造價特點，優(yōu)選占地面積小的設(shè)備，節(jié)約用地面積，節(jié)省了工程造價。

    水箱：開式系統(tǒng)中水箱主要起到補(bǔ)充水源作用。閉式系統(tǒng)中水箱需要選擇膨脹水箱，膨脹水箱有三個作用，一是收容和補(bǔ)償系統(tǒng)中水的脹縮量；二是向密閉式循環(huán)水系統(tǒng)提 供穩(wěn)定的壓力，起到系統(tǒng)穩(wěn)壓的作用；三是作為系統(tǒng)補(bǔ)水泵的指示，通常由膨脹水箱發(fā)出信號啟動或關(guān)閉系統(tǒng)補(bǔ)水泵。

    過濾器：過濾掉水中的固體顆粒雜質(zhì)，凈化水源。

    工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)中有冷凍水和冷卻水這兩個相對獨立的系統(tǒng)，冷凍水由冷水機(jī)組提供，冷凍水與冷卻水進(jìn)行熱交換，使冷卻水降溫從而降低設(shè)備的溫度。從生產(chǎn)設(shè)備抽水經(jīng) 水泵至熱交換器通過控制冷凍水的量來保證工藝?yán)鋮s水的水溫，通過過濾器后送至生產(chǎn)線設(shè)備，再回到水泵。構(gòu)成工藝?yán)鋮s水反復(fù)循環(huán)。冷凍水則直接回冷水機(jī)組。

    1.1風(fēng)冷與水冷冷水機(jī)組比較

    風(fēng)冷冷水機(jī)組是以空氣為冷（熱）介質(zhì)，作為冷（熱）源兼用型的一體化設(shè)備。如圖2所示。機(jī)組以其高效、低噪音、結(jié)構(gòu)合理、操作簡便、運行安全、安裝維護(hù)方便等優(yōu)點。

    風(fēng)冷模塊機(jī)組省去了冷凍水系統(tǒng)所必不可少的冷卻塔、水泵、鍋爐及相應(yīng)的管道系統(tǒng)等許多輔件，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，安裝空間省、維護(hù)管理方便且又節(jié)約能源。另外，冷凍水不暴露于空氣中，水的損耗很少，因此可以使用純水，避免了水質(zhì)過差的地區(qū)所造成 的冷凝器結(jié)垢，水管堵塞等現(xiàn)象，同時還節(jié)約了水資源。水冷冷水機(jī)組是靠水循環(huán)來達(dá)到冷凝效果，然后靠水循環(huán)來帶走一定的熱量 。

    工藝?yán)鋮s水的冷水設(shè)備；通常主要有“水冷螺桿機(jī)組”“水冷離心機(jī)組”兩種。如圖3所示。水的再冷卻是通過冷卻塔來進(jìn)行的，因此冷凍水在循環(huán)過程 中要與空氣接觸，部分水在通過冷卻塔時還會不斷被蒸發(fā)損失掉，因而水中各種礦物質(zhì)和離子含量也不斷被濃縮增加。為了維持各種礦物質(zhì)和 離子含量穩(wěn)定在某一個定值上，必須對系統(tǒng)補(bǔ)充一定量的冷卻水，通常稱作補(bǔ)充水，并排出一定量的濃縮水，維持一定的電導(dǎo)率，一般通稱冷卻塔排污。

    1.2冷水機(jī)組基本組成

    冷水機(jī)組主要構(gòu)成部分有：壓縮機(jī)、蒸發(fā)器、冷凝器、熱力膨脹閥四大部件。

    壓縮機(jī)：壓縮機(jī)是整個制冷系統(tǒng)中的核心部件，也是制冷劑壓縮的動力之源。它的作用是將輸入的電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能，將制冷劑壓縮。

    蒸發(fā)器：蒸發(fā)器是依靠制冷劑液體的蒸發(fā)（實際上是沸騰）來吸收被冷卻介質(zhì)熱量的換熱設(shè)備。它在制冷系統(tǒng)中的功能是吸收熱量（或稱 輸出冷量）。為了保證蒸發(fā)過程能穩(wěn)定持久的進(jìn)行，必須不斷的用制冷壓縮機(jī)將蒸發(fā)的氣體抽走，以保持一定的蒸發(fā)壓力。

    冷凝器：在制冷過程中冷凝器起著輸出熱能并使制冷劑得以冷凝的作用。從制冷壓縮機(jī)排出的高壓過熱蒸氣進(jìn)入冷凝器后，將其在工作過程吸收的全部熱量，其中包括從蒸發(fā)器和制冷壓縮機(jī)中以及在管道內(nèi)所吸收的熱量都傳遞給周圍介質(zhì)（水或空氣）帶走；制冷劑高壓過熱 蒸氣重新凝結(jié)成液體。（根據(jù)冷卻介質(zhì)和冷卻方式的不同，冷凝器可分為三類：水冷式冷凝器、風(fēng)冷式冷凝器、蒸發(fā)式冷凝器。）

    熱力膨脹閥：熱力膨脹閥在制冷系統(tǒng)中既是流量的調(diào)節(jié)閥，又是制冷設(shè)備中的節(jié)流閥，它在制冷設(shè)備中安裝在干燥過濾器和蒸發(fā)器之間。如圖2所示。機(jī)組以其高效、低噪音、結(jié)構(gòu)合理、操作簡便、運行安全、安裝維護(hù)方便等優(yōu)點。

    風(fēng)冷模塊機(jī)組省去了冷凍水系統(tǒng)所必不可少的冷卻塔、水泵、鍋爐及相應(yīng)的管道系統(tǒng)等許多輔件，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，安裝空間省、維護(hù)管理方便且又節(jié)約能源。另外，冷凍水不暴露于空氣中，水的損耗很少，因此可以使用純水，避免了水質(zhì)過差的地區(qū)所造成的冷凝器結(jié)垢，水管堵塞等現(xiàn)象，同時還節(jié)約了水資源。

    水冷冷水機(jī)組是靠水循環(huán)來達(dá)到冷凝效果，然后靠水循環(huán)來帶走一定的熱量的冷水設(shè)備；通常有“水冷螺桿機(jī)組”“水冷渦旋機(jī)組”。如 圖3所示。水的再冷卻是通過冷卻塔來進(jìn)行的，因此冷凍水在循環(huán)過程中要與空氣接觸，部分水在通過冷卻塔時還會不斷被蒸發(fā)損失掉，因而 水中各種礦物質(zhì)和離子含量也不斷被濃縮增加，最終導(dǎo)致結(jié)垢，為了維持各種礦物質(zhì)和離子含量穩(wěn)定在某一個定值上，必須對系統(tǒng)補(bǔ)充一定量的冷卻水，通常稱作補(bǔ)充水，并排出一定量的 濃縮水，通稱排污水。

    1.2冷水機(jī)組基本組成

    冷水機(jī)組主要構(gòu)成部分有：壓縮機(jī)、蒸發(fā)器、冷凝器、熱力膨脹 閥

    壓縮機(jī)：壓縮機(jī)是整個制冷系統(tǒng)中的核心部件，也是制冷劑壓縮的動力之源。它的作用是將輸入的電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能，將制冷劑壓縮。蒸發(fā)器：蒸發(fā)器是依靠制冷劑液體的 蒸發(fā)（實際上是沸騰）來吸收 被冷卻介質(zhì)熱量的換熱設(shè)備。它在制冷系統(tǒng)中的功能是吸收熱量（或稱輸出冷量）。為了保證蒸發(fā)過程能穩(wěn)定持久的進(jìn)行，必須不斷的用制冷壓縮機(jī)將蒸發(fā)的氣體抽走，以 保持一定的蒸發(fā)壓力。

    冷凝器：在制冷過程中冷凝器起著輸出熱能并使制冷劑得以冷凝的作用。從制冷壓縮機(jī)排出的高壓過熱蒸氣進(jìn)入冷凝器后，將其在工作過程吸收的全部熱量，其中包括從蒸 發(fā)器和制冷壓縮機(jī)中以及在管道內(nèi)所吸收的熱量都傳遞給周圍介質(zhì)（水或空氣）帶走；制冷劑高壓過熱蒸氣重新凝結(jié)成液體。（根據(jù)冷卻介質(zhì)和冷卻方式的不同，冷凝器可分為三類：水冷式冷凝器、風(fēng)冷式冷凝器、蒸發(fā)式冷凝器。）

    熱力膨脹閥：熱力膨脹閥在制冷系統(tǒng)中既是流量的調(diào)節(jié)閥，又是制冷設(shè)備中的節(jié)流閥，它在制冷設(shè)備中安裝在干燥過濾器和蒸發(fā)器之間，它的感溫包是包扎在蒸發(fā)器的出口 處。其主要作用是使高壓常溫的制冷劑液體在流經(jīng)熱力膨脹閥時節(jié)流降壓，變?yōu)榈蜏氐蛪褐评鋭裾魵猓ù蟛糠质且后w，小部分是蒸汽）進(jìn)入蒸發(fā)器，在蒸發(fā)器內(nèi)汽化吸熱而達(dá)到制冷降溫的目的。

    2、開式與閉式系統(tǒng)特點比較

    冷卻水系統(tǒng)分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)兩種，閉式系統(tǒng)主要由水泵、 板換、工藝設(shè)備、管網(wǎng)和定壓設(shè)備組成，開式系統(tǒng)主要由水箱、水泵、板換、工藝設(shè)備和管網(wǎng)組成。

    開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)相同點：①均為間接傳熱；

    ②工藝設(shè)備對水質(zhì)要求比較高，故系統(tǒng)補(bǔ)水均需軟化水補(bǔ)水（可以采用純水站二級反滲透 水作為系統(tǒng)補(bǔ)水，不需要再增加水處理裝置）；

    ③系統(tǒng)冷媒均為冷凍機(jī) 冷卻水。

    開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)不同點：

    ①開式系統(tǒng)冷卻水在水箱處和大氣局部有接觸；

    ② 開式系統(tǒng)無法利用系統(tǒng)回水壓力，不節(jié)能。

    3、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)模式的選擇

    工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的模式分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)，在設(shè)計過程中如何選擇開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)以下幾種情況進(jìn)行選擇：

    ①當(dāng)工藝設(shè)備最高處距離水泵板換設(shè)備高差比較大時（高差超過10m）， 建議采用閉式系統(tǒng)，這樣可以充分利用設(shè)備余壓及靜揚程；

    ②當(dāng)工藝設(shè)備供水壓力要求很高但設(shè)備壓差不大時，建議采用閉式系統(tǒng)，這樣可以利用管網(wǎng)余壓減小水泵揚程，起到節(jié)能作用；

    ③當(dāng)廠房工藝設(shè)備分期分批投產(chǎn)或設(shè)備更新調(diào)整比較頻繁時，考慮到系統(tǒng)可調(diào)試性，建議采用開式系統(tǒng)，可以加快系統(tǒng)調(diào)試運行，同時系統(tǒng)由于增加了水箱，系統(tǒng)保有水量增加，冷源中斷時，具備一定事故緩沖能力。

    ④從節(jié)能角度考慮，采用閉式系統(tǒng)，可 以大大減小工藝?yán)鋮s水供水循環(huán)泵的揚程，一方面可以節(jié)約初投資，另一方面可以節(jié)約能源，減小運行費用。

    ⑤當(dāng)設(shè)備冷卻水溫度在最熱天能用冷卻塔直接降溫或業(yè)主要求投資少時，可以采用開式系統(tǒng)。當(dāng)設(shè)備冷卻水進(jìn)水溫度采用開式冷卻塔無法滿足時采用閉式系統(tǒng)，利用冷凍水作為冷媒。

    4、建議

    工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)在半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中應(yīng)用非常廣泛，為了在提高系統(tǒng)工程的穩(wěn)定性、降低工程成本以及節(jié)能等方面取得良好效益，在系統(tǒng)工程設(shè)計過程中根據(jù)實際使用情況選擇理想的運行模式顯得非常重要。本篇簡單介紹了工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)組成、工作原理、系統(tǒng)特點及系統(tǒng)模式選擇等內(nèi)容，僅供各位廠務(wù)同仁在設(shè)計 工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)時參考。 來源：商業(yè)新知